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FLP-60W

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     FLP-60W
    低脉动气动风囊泵
    低脉动
    独特的系统驱动机制,确保气囊最佳运动效果,将脉动减到最低。
    减低压缩空气消耗量
    在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
    高持续压力
    最佳的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
    无需阻尼器
    泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
    规格

    最大流量 L/min

    50

    最大脉动宽度 MPa

    0.06

    液体温度范围 °C(MPa)
    (最大压缩空气压力)

    5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3)

    压缩空气压力范围 MPa

    0.41 ~ 0.5

    0.31 ~ 0.4

    0.21 ~ 0.3

    0.11 ~ 0.2

    0.1

    最高冲程率 spm

    120

    140

    155

    160

    最大压缩空气消耗量 NL/min

    464

    419

    338

    252

    116

    最大粘度 mPa·S

    50

    吸程 m

    1

    环境温度 / 湿度 °C/%RH

    0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝)

    储存温度 / 湿度 °C/%RH

    -10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝)

    操作方式

    间隔 /连续

    驱动方式

    外部压缩空气

    接头尺寸 mm

    Ø25 x Ø22 软管

    压缩空气接头尺寸

    Rc3/8

    空气端口

    Ø6 一触式接头

    重量 kg

    22





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