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FS-N 系列

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    FS-N 系列

    适用于各类供药系统,吐出量达100L/min
    高速冲程
    高速冲程 (FS-80N最高达200 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压力工况。
    无污染设计
    过流端采用氟树脂无污染构造,使用独有的轴封显著降低颗粒的产生。
    高流量及高吐出压力
    最大吐出量高达0.7MPa,不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求,同时适用于清洗及CMP制程。
    传感器驱动系统
    内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。
    规格

    最大吐出量

    100 L/min

    最大吐出压力

    0.7 MPa

    最大耗气量

    1495 NL/min

    最大冲程率

    100 spm

    主要材质

    PTFE, PFA

    液体输送温度范围

    5 ~ 60 °C

     



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