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FS 系列

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    FS 系列

    外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
    高速冲程
    提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
    高速冲程
    提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
    无污染设计
    过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利),能显著降低颗粒的产生。液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
    液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。
    易于维护
    更换开关无需拆卸,不需定期收紧螺栓,减少了停机时间。
    传感器驱动系统
    内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量
    规格

    最大吐出量

    55 L/min

    最大吐出压力

    0.5 MPa

    最大耗气量

    670 NL/min

    最大冲程率

    240 spm

    主要材质

    PTFE, PFA

    液体输送温度范围

    5 ~ 180 °C






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    重庆鼎满科技发展有限公司
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